但由于傅里叶变换型光谱仪的迈克尔逊干涉仪设计中存在动镜——它依靠步进电机和其它精密机械系统驱动，所以其可靠性和便携性受到较大限制，特别是对光谱仪的使用和放置环境有严格要求。为此，研究人员通过引入MEMS技术来解决这类光谱仪的微型化问题 ...