真空溅射镀膜按其工作方式和应用特点可分为直流溅射、射频溅射、磁控溅射以及反应性溅射等。每种方式在工艺上具有独特的优势和局限，适用于不同的靶材类型和镀膜需求。 直流溅射是溅射镀膜中最早发展的一种技术。通过对靶材施加直流电压，将靶材设定 ...